[发明专利]P型PERC双面太阳电池的制作方法

摘要

本发明公开了一种P型PERC双面太阳电池的制作方法，其特征在于包括以下步骤：①晶硅表面制绒；②扩散；③去PSG和单晶抛光；④背面沉淀钝化膜；⑤正面沉积减反射膜；⑥背面激光刻划接触区；⑦背面印刷背电极和铝栅线；⑧正面印刷银栅线；⑨高温烧结。本发明对传统产线进行改造升级，实现太阳电池产品由单面太阳电池向双面太阳电池的转变，增加太阳电池的PN结面积，提高太阳光的利用率，增加太阳电池的闭路电流，达到提高效率的目的。双面PERC电池铝浆料用量约为单面PERC电池的20‑30％。

主权项

一种P型PERC双面太阳电池的制作方法，其特征在于包括以下步骤：①晶硅表面制绒：选择P型硅片，对选择的P型硅片的双面在碱液下进行表面绒面化，然后在酸性条件下进行化学清洗，除去表面杂质；②扩散：采用B、P共扩工艺，正面P扩散，背面B扩散，硅片两片为一组，每组硅片采用竖直背靠背的方式进行扩散，两片硅片背面之间插入纸状固态源B源，正面采用通三氯氧磷的方式进行正面磷扩散；推进扩散炉在进行高温共扩散，使硅片的正面形成n+掺杂层，背面形成p+掺杂层；③去PSG和单晶抛光：刻蚀工序清洗去除硅片表面残留的磷硅玻璃和单晶背面抛光；④背面沉淀钝化膜：背面单面依次沉积氧化铝/氮化硅叠层膜；⑤正面沉积减反射膜：正面沉积氮化硅减反射膜；⑥背面激光刻划接触区：背面局部打开薄膜，背面激光图形设计：光斑直径：10‑35μm，激光线的间距：500‑700μm；⑦背面印刷背电极和铝栅线，背面采用铝栅线设计，铝背场网版设计：铝栅线宽度：100‑300μm，副栅根数：96‑115根；⑧正面印刷银栅线；⑨高温烧结。