[发明专利]具有微纳减反射层的太阳能光伏玻璃的制备方法

摘要

一种具有微纳减反射层的太阳能光伏玻璃的制备方法，其包括如下步骤：a.将玻璃基片置于氧气等离子体中刻蚀，以制得改性玻璃基片；b.在该改性玻璃基片的表面涂覆一层有机硅附着力促进剂，以形成有机硅附着力促进剂镀层；c.在该有机硅附着力促进剂镀层的表面涂覆一层光刻胶，以形成光刻胶镀层；d.将含有该光刻胶镀层的玻璃基板放在真空压印设备进行压印，并采用紫外光源照射，待该光刻胶固化成型停止照射，以制得减反射层前驱体；e.移除该真空压印设备，将该减反射层前驱体放入等离子体刻蚀腔中，加入反应气体对玻璃基片进行刻蚀反应，以制得具有微纳减反射层的太阳能光伏玻璃。本发明的制备工艺简单，且制得的太阳能光伏玻璃具有高分辨率及高光转化效率性能。

主权项

1.一种具有微纳减反射层的太阳能光伏玻璃的制备方法，其包括如下步骤：a.将玻璃基片置于氧气等离子体中刻蚀，以制得改性玻璃基片；b.在所述改性玻璃基片的表面涂覆一层有机硅附着力促进剂，以形成有机硅附着力促进剂镀层；c.在所述有机硅附着力促进剂镀层的表面涂覆一层光刻胶，以形成光刻胶镀层；d.将含有所述光刻胶镀层的玻璃基板放在真空压印设备进行压印，并采用紫外光源照射，待所述光刻胶固化成型停止照射，以制得微纳减反射层前驱体；以及e.移除所述真空压印设备，将所述微纳减反射层前驱体放入等离子体刻蚀腔中，加入反应气体对所述玻璃基片进行刻蚀反应，并在反应结束后进行清洗及干燥处理，以制得具有微纳减反射层的太阳能光伏玻璃。