[发明专利]一种石墨烯基光电探测器

摘要

本发明提供一种石墨烯基光电探测器，包括硅基板、硫掺杂石墨烯层以及硫掺杂石墨烯层上的铜铟镓硒硫功能层，是一种新的材料和材料之间的配合方式下形成的光电探测器，通过硫掺杂石墨烯层结合成分渐变的铜铟镓硒硫功能层，给出了一种新结构的石墨烯基光电探测器。

主权项

一种石墨烯基光电探测器，其特征在于，包含：硅基板；硫掺杂石墨烯层，所述硫掺杂石墨烯层形成在所述硅基板层上；在硫掺杂石墨烯层上形成铜铟镓硒硫功能层，所述铜铟镓硒硫功能层中硫含量从下至上逐渐减小，硒含量从下至上逐渐增大；所述铜铟镓硒硫功能层上的透明导电氧化物层；所述铜铟镓硒硫功能层的制备方法为：先在所述硫掺杂石墨烯层上形成一层铜铟镓硫预制层，在所述铜铟镓硫预制层上形成一层铜铟镓预制层，然后在所述铜铟镓预制层上形成一层铜铟镓硒预制层，形成三次预制层后在硒蒸气氛围下进行退火。