[发明专利]层合体和图案形成方法有效
| 申请号： | 201710951478.6 | 申请日： | 2017-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN108373856B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 浅井聪;曾我恭子;加藤英人 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09D183/10 | 分类号： | C09D183/10;C09D163/00;C09D161/06;C09D133/00;C09D167/00;C09D175/04;C09D179/08;C09D7/63;G03F7/09;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为层合体和图案形成方法。提供了即使在使用化学放大负型抗蚀剂材料的情况下也能够形成具有优异的开口形状的图案的层合体以及使用所述层合体的图案形成方法。所述层合体包括化学放大负型抗蚀剂层和在其上的含有0.001至10重量％的具有至多10,000的分子量的碱性化合物的碱性树脂涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 合体 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.层合体，其包括：化学放大负型抗蚀剂层；和在所述化学放大负型抗蚀剂层上的碱性树脂涂层，其含有0.001至10重量％的具有至多10,000的分子量的碱性化合物。
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D183-00 基于由只在主链中形成含硅的、有或没有硫、氮、氧或碳键反应得到的高分子化合物的涂料组合物；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D183-02 .聚硅酸酯
C09D183-04 .聚硅氧烷
C09D183-10 .含有聚硅氧烷链区的嵌段或接枝共聚物
C09D183-14 .其中至少两个，但不是所有的硅原子与氧以外的原子连接
C09D183-16 .其中所有的硅原子与氧以外的原子连接
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