[发明专利]用于热处理腔室的支撑圆柱

摘要

本公开内容的实施方式大体涉及用于热处理腔室中的支撑圆柱。在一个实施方式中，支撑圆柱包括具有内周表面和外周表面的环形主体，其中环形主体包括不透明石英玻璃材料且其中环形主体被光学透明层涂布。光学透明层具有与不透明石英玻璃材料实质匹配或相似的热膨胀系数以减少热膨胀不匹配，热膨胀不匹配可在高热负载下产生热应力。在一个实例中，不透明石英玻璃材料是合成黑石英且光学透明层包括透明熔融石英材料。

主权项

一种用于处理腔室的支撑圆柱，包括：圆柱主体，所述圆柱主体具有内周表面、围绕所述内周表面的外周表面、和在所述外周表面和所述内周表面之间径向延伸的侧部，其中所述侧部包括：第一端，所述第一端具有第一部分、第二部分以及位于所述第一部分和所述第二部分之间的第一平面部分，其中所述第一端的所述第一部分以相对于所述内周表面的第一角度朝所述内周表面倾斜；和第二端，所述第二端与所述第一端相对，所述第二端具有第一部分、第二部分以及位于所述第二端的所述第一部分和所述第二端的所述第二部分之间的第二平面部分，其中所述第二端的所述第一部分以相对于所述外周表面的第二角度朝所述外周表面倾斜。