[发明专利]用于生产包括三元合金的低辐射玻璃的涂层系统、方法和装置

摘要

在此公开的系统、方法，和设备用于形成低辐射板，其可包括基片和反射层，被形成在所述基片上。所述低辐射板可进一步包括顶部介质层，被形成在所述反射层上，从而所述反射层被形成在所述顶部介质层和所述基片之间。所述顶部介质层可包括三元金属氧化物，如锌锡铝氧化物。所述顶部介质层也可包括铝。所述铝浓度的原子百分比为1％‑15％，或为2％‑10％。锌对锡的原子比可为0.67‑1.5，或为0.9‑1.1。

主权项

一种涂层制品，其包括：玻璃基片；包括银的红外反射层，该包括银的红外反射层至少在所述玻璃基片上，其中，所述包括银的红外反射层位于包括氧化锌的层上并与该包括氧化锌的层直接接触；接触层，位于所述包括银的红外反射层上并与该包括银的红外反射层直接接触；介质层，被形成在所述包括银的红外反射层上和所述接触层上，使得所述红外反射层被形成在至少所述介质层和所述玻璃基片之间，所述介质层包括锌锡铝氧化物，其中，所述介质层中的锌对锡的原子比为0.67‑1.5，并且，其中，所述介质层包括原子百分比为1％‑15％的铝；和包括氮化硅的层，位于至少在所述介质层上，包括锌锡铝氧化物。