[发明专利]一种基于光纤的两用型远心结构数字全息显微测量装置在审
| 申请号： | 201710959795.2 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN107796302A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 王昭;黄军辉;李绪萌;高建民;段琼琼 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B9/021 | 分类号： | G01B9/021 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种两用型数字全息显微测量装置。本装置由激光发生与光纤分束系统、物光光路传输系统、参考光光路传输系统、测量模式切换系统和激光合束与记录系统构成。本发明集透射式测量和反射式测量于一身，可以实现透明样本和不透明样本的实时三维形貌测量。本装置具备远心光路结构，可以消除一次及二次相位畸变；采用光纤传光，系统集成度高、体积小、稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光纤 两用 心结 数字 全息 显微 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于光纤的两用型远心结构数字全息显微测量装置，其特征在于，包括物光光路传输系统，物光光路传输系统的光线出射端设置有第一反射镜(21)，第一反射镜(21)的出射光线经过第二反射镜(22)的反射依次经过载物台(17)、显微物镜(16)和分光棱镜(18)进入CMOS相机(20)；其中，物光光路传输系统的光线出射端与第一反射镜(21)之间还设置有可切出光路的第一五角棱镜(8)，第一五角棱镜(8)的出射光线经过分光棱镜(18)折转向下，经过显微物镜(16)照射载物台(17)上的样本，被样本反射的光经过显微物镜(16)放大后进入CMOS相机(20)。
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