[发明专利]带温度测量功能的高温大量程压力传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种带温度测量功能的高温大量程压力传感器及其制造方法，包括引压组件、基座组件、引线组件、调理电路板、外壳、连接组件组成。将溅射薄膜压力传感器弹性体钢杯与引压嘴加工成整体，彻底消除弹性体钢杯与引压嘴焊接泄漏的隐患，同时增加经济实用的温敏电阻用于测量介质温度。另外，引压组件与基座组件分开加工，并且，引压组件加工有应力隔离槽，传感器在与介质压力测量管道连接时，扳手的机械扭矩和变形所产生的较大应力不会传导至压力传感器敏感芯体上，能确保传感器的测量精度和长期稳定性。这样能获得测量精度高、稳定性好、温度范围宽、量程范围大、能同时测量温度的高性能压力传感器产品。

主权项

一种带温度测量功能的高温大量程压力传感器，其特征在于：包括引压组件(1)、基座组件(2)、引线组件(3)、调理电路板(4)、外壳(5)、连接组件(6)；所述引压组件(1)下端中心加工有引压孔(101)、下端外部加工有外螺纹(102)、中部加工有支撑台(103)、上端加工有弹性体(104)、中上部加工有应力隔离槽(105)；所述引压组件(1)完成将被测介质引入且将被测介质压力信号转换成电信号的作用；所述基座组件(2)下部内侧加工有与所述引压组件(1)的支撑台(103)吻合的基座下凸台(203)、下部外侧加工有六角头(201)、上部内侧加工有与所述引线组件(3)吻合的基座上凸台(202)、上部外侧加工有与所述外壳(5)吻合的基座外凸台(205)；所述引线组件(3)包括高温接触电路板(301)、引线支架(302)、引线针(303)、密封板(304)、温敏电阻(307)；所述温敏电阻(307)是通过温敏连接(308)焊接在所述高温接触电路板(301)的引线焊盘(305)上的小型温度敏感电阻；所述温敏电阻(307)直接接触所述弹性体(104)表面，用于测量介质温度；所述引线支架(302)是金属材料制成的圆形支架，边缘加工有多个引线针穿孔(311)，所述引线针穿孔(311)内插入金属引线针(303)，所述金属引线针(303)周围灌注绝缘填充料(306)以便于所述金属引线针(303)与所述引线支架(302)绝缘；所述金属引线针(303)伸出引线针穿孔(311)的上端部分比下端部分长；所述高温接触电路板(301)的焊盘与所述引线支架(302)的金属引线针(303)下端一一对齐并紧密胶合；所述密封板(304)嵌入引线支架(302)的支架上凸台(310)并圆周密封焊接；所述调理电路板(4)外周加工有与所述金属引线针(303)对应的引线针过孔(401)；所述金属引线针(303)穿过对应的引线针过孔(401)并焊接，实现所述高温接触电路板(301)信号与所述调理电路板(4)信号连通。