[发明专利]三轴磁传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201710961421.4 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN108205119B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 太田尚城;高桥宏和;三浦聪 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供能够高精度地检测三轴方位的磁场的三轴磁传感器及其制造方法。三轴磁传感器(1)具备：具有第一面(21)及与其相对的第二面(22)的基板(2)、和设置于第一面(21)上的磁传感器元件组(3)。磁传感器元件组(3)包含X轴方向的磁力检测用的第一磁传感器元件(31)、Y轴方向的磁力检测用的第二磁传感器元件(32)和Z轴方向的磁力检测用的第三磁传感器元件(33)。第一～第三磁传感器元件(31～33)分别包含由至少含有磁化固定层(42)及自由层(44)的层叠体构成的第一～第三磁阻效应元件(4)，第一～第三磁阻效应元件(4)的各磁化固定层(42)的磁化方向M42被固定在相对于第一面(21)以规定的角度θ |
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| 搜索关键词： | 三轴磁 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种三轴磁传感器，其特征在于，具备：基板，其具有第一面及与该第一面相对的第二面；和磁传感器元件组，其设置于所述基板的所述第一面上，所述磁传感器元件组包含用于检测第一轴方向的磁力的第一磁传感器元件、用于检测第二轴方向的磁力的第二磁传感器元件、和用于检测第三轴方向的磁力的第三磁传感器元件，所述第一轴方向和所述第二轴方向是在包含所述第一轴方向和所述第二轴方向的平面上相互正交的方向，所述第三轴方向是与包含所述第一轴方向和所述第二轴方向的所述平面正交的方向，所述第一～第三磁传感器元件分别含有第一～第三磁阻效应元件，所述第一～第三磁阻效应元件均是至少含有磁化固定层及自由层的层叠体，所述第一～第三磁阻效应元件的各磁化固定层的磁化方向被固定在相对于所述基板的所述第一面以规定的角度倾斜的方向。
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