[发明专利]一种维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路

摘要

本发明公开了一种维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，包括脉冲变换模块、脉冲隔离变压器驱动模块；输入电压经过脉冲变换模块变换成脉冲信号，控制电压和脉冲信号输入脉冲隔离变压器驱动模块后，转换成驱动电压，由所述驱动电压输出单元输出。本发明提供的一种新型的隔离驱动电路，采用了矩形波到脉冲波的转换电路，同时应用2组脉冲隔离变压器，实现了灵活控制负责导通和关断MOSFET的Uout+和Uout‑电压，包括其幅值和周期。该隔离驱动电路保留了脉冲电压驱动电路的响应速度快、抗干扰能力强，且成本较低的特点，同时兼备了光耦隔离驱动电路导通和关断电压分别控制的优点。

主权项

一种维持中频等离子电源MOS管电压均衡的驱动电路，其特征在于，包括脉冲变换模块、脉冲隔离变压器驱动模块；所述脉冲变换模块包括电压输入单元、脉冲输出单元；所述脉冲隔离变压器驱动模块包括控制电压输入单元、脉冲输入单元、驱动电压输出单元；所述电压输入单元接收输入电压，所述输入电压经过所述脉冲变换模块变换成脉冲信号，所述脉冲输出单元与所述脉冲隔离变压器驱动模块的脉冲输入单元相连，所述脉冲输出单元输出的脉冲信号作为所述脉冲输入单元的输入信号；所述控制电压输入单元接收控制电压，所述控制电压和所述脉冲输入模块接收的脉冲信号输入所述脉冲隔离变压器驱动模块后，转换成驱动电压，由所述驱动电压输出单元输出。