[发明专利]工件的加工方法和工艺腔室有效
| 申请号： | 201710963394.4 | 申请日： | 2017-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109671607B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 黄亚辉;李一成;刘建;曹永友 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种工件的加工方法和工艺腔室。所述方法包括：提供工件的毛坯；对所述毛坯进行粗加工处理，获得初步半成品；精加工处理所述初步半成品的表面，获得中间半成品，其中，所述中间半成品的表面粗糙度值Ra |
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| 搜索关键词： | 工件 加工 方法 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种工件的加工方法，所述工件放置于工艺腔室内，其特征在于，所述方法包括：提供工件的毛坯；对所述毛坯进行粗加工处理，获得初步半成品；精加工处理所述初步半成品的表面，获得中间半成品，其中，所述中间半成品的表面粗糙度值Ra1<1.6；对所述中间半成品的表面进行预定处理，获得所述工件；其中，所述工件的表面粗糙度值符合预设粗糙度值。
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