[发明专利]一种激光诱导KOH化学反应刻蚀和切割蓝宝石的加工方法在审
| 申请号： | 201710970214.5 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN107570876A | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 袁根福;丛启东;郭百澄;章辰 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | B23K26/359 | 分类号： | B23K26/359;B23K26/362;B23K26/142 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214122 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光诱导KOH化学反应刻蚀和切割蓝宝石的加工方法，属于特种加工领域。本发明涉及到的加工方法主要有四个步骤(1)在蓝宝石表面均匀覆盖一层KOH粉体；(2)确定激光刻蚀蓝宝石的激光系统参数及工艺参数；(3)确定激光扫描路径和扫描速度后，激光束按照扫描路径进行蓝宝石的刻蚀；(4)若为蓝宝石的切割，则沿着刻槽方向掰开，若为蓝宝石的刻蚀，则省略该步骤。该方法主要利用熔融KOH腐蚀蓝宝石和激光烧蚀蓝宝石两种刻蚀方法结合起来，从而进行蓝宝石的高去蚀率刻蚀，并在该方法的基础上利用控制裂纹法切割实现蓝宝石薄板的切割。本发明所提供的方法，可在蓝宝石表面上刻蚀出较复杂的二维刻槽，由于该加工方法的刻蚀机理是以化学反应腐蚀蓝宝石为主，故能够实现在较低裂损情况下实现高去蚀率，也可以实现蓝宝石薄板较高质量的直线切割。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 诱导 koh 化学反应 刻蚀 切割 蓝宝石 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种激光诱导KOH化学反应刻蚀和切割蓝宝石的加工方法，其特征在于，包括：(1)在蓝宝石表面均匀覆盖一层KOH粉体；(2)确定激光刻蚀蓝宝石的激光系统参数及工艺参数；(3)确定激光扫描路径和扫描速度后，激光束按照扫描路径进行刻蚀加工；(4)若为蓝宝石薄板的切割，则沿着蓝宝石薄板表面的刻槽方向掰开；若为蓝宝石的刻蚀，则省略此步骤。
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