[发明专利]包括体积减少的压电致动器的MEMS设备有效
| 申请号： | 201710972205.X | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN108373135B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | D·朱斯蒂 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;潘聪 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所描述的是一种包括压电致动器的MEMS设备，其包括压电材料制成的膜。该膜被多个孔贯穿。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 体积 减少 压电 致动器 mems 设备 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS设备，包括：压电致动器，包括压电材料膜，所述膜包括多个通孔。
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