[发明专利]一种低摩擦系数MoS2基金属-氧化物复合固体润滑薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201710972538.2 | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN107841717B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 王文权;曹明;刘亮 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京阳光天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11671 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低摩擦系数MoS2基金属‑氧化物复合固体润滑薄膜的制备方法，包括制备复合固体润滑薄膜的步骤，还可以有在制备复合固体润滑薄膜之前在基底上预溅射制备预结合层薄膜的步骤，还可以有在制备预结合层薄膜后、制备复合固体润滑薄膜前制备过渡层薄膜的步骤。本发明解决MoS2基固体润滑膜在使用中耐磨性较差及使用环境苛刻的问题，提供一种低摩擦系数MoS2基复合固体润滑薄膜的制备方法，提供了MoS2基薄膜多场合使用的可能性，并延长了薄膜的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 摩擦系数 mos2 基金 氧化物 复合 固体 润滑 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种低摩擦系数MoS2基金属‑氧化物复合固体润滑薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：制备复合固体润滑薄膜：由Ti或Al金属靶材、ZnO靶材及MoS2靶材磁控共溅射制备复合固体润滑薄膜；Ti或Al金属靶材使用直流溅射，ZnO靶材及MoS2靶材使用射频溅射；所述低摩擦系数MoS2基金属‑氧化物复合固体润滑薄膜的厚度为0.8μm～3.2μm；所述制备复合固体润滑薄膜之前还包括使用Ti或Al金属靶材在基底上预溅射制备预结合层薄膜的步骤。
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