[发明专利]用物理气相沉积法制备无机锡基钙钛矿太阳能电池的方法

摘要

本发明涉及一种用物理气相沉积法制备无机锡基钙钛矿太阳能电池的方法，所述无机锡基钙钛矿太阳能电池依次由柔性聚酰亚胺导电基体、锡基钙钛矿CsSnI3层、超薄金属基透明导电薄膜组成；制备方法包括1)清洗基底；2)采用射频磁控溅射制备空穴传输层CuI；3)采用蒸镀法制备锡基钙钛矿CsSnI3层；4)采用射频磁控溅射制备电子传输层ZnO；5)采用连续磁控溅射法制备超薄金属基透明导电薄膜，即成无机锡基钙钛矿太阳能电池。本发明所制备的吸收层薄膜结晶性好、形貌易于控制，有利于提高钙钛矿太阳能电池的效率、增强钙钛矿太阳能电池稳定性、降低对温度和湿度的敏感性，同时，有效的避免重金属的污染。

主权项

用物理气相沉积法制备无机锡基钙钛矿太阳能电池的方法，其特征在于，所述无机锡基钙钛矿太阳能电池依次由柔性聚酰亚胺导电基体、空穴传输层CuI、锡基钙钛矿CsSnI3层、电子传输层ZnO、超薄金属基透明导电薄膜组成；制备方法包括如下步骤：1)清洗基底；采用柔性聚酰亚胺导电基体为基底，依次用丙酮、乙醇、去离子水在超声波清洗仪中分别清洗15min以上，然后用氮气吹干；为了便于测量薄膜厚度，在吹干后的柔性聚酰亚胺导电基体上用记号笔做标记；2)在经步骤1)处理后的柔性聚酰亚胺导电基体上采用射频磁控溅射法制备空穴传输层CuI；3)在经步骤2)处理后的柔性聚酰亚胺导电基体上采用蒸镀法制备锡基钙钛矿CsSnI3层；4)在经步骤3)处理后的柔性聚酰亚胺导电基体上采用射频磁控溅射法制备电子传输层ZnO；5)在经步骤4)处理后的柔性聚酰亚胺导电基体上采用连续磁控溅射法制备超薄金属基透明导电薄膜，即制成无机锡基钙钛矿太阳能电池。