[发明专利]一种基于LabVIEW的微球球度高精度测量控制系统在审
| 申请号： | 201710974646.3 | 申请日： | 2017-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN107966121A | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 黄强先;方传智;芈梦;程荣俊;张连生;李瑞君;陈丽娟 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B17/06 | 分类号： | G01B17/06 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于LabVIEW的微球球度高精度测量控制系统，利用两个音叉探针在X方向构成左右差动结构，然后利用两个信号发生器激励两个音叉探针产生谐振，音叉探针振动的信号通过幅值反馈电路处理后经过数据采集卡由工业计算机内的LabVIEW读取，LabVIEW通过读取的音叉振动幅值大小确定音叉探针与被测球的距离，工业计算机给微动台控制器发送指令，通过微动台控制器控制两X向纳米精度微动台同时驱动音叉探针差动逼近微球进行测量，单次逼近完成后微动台控制器控制Y向纳米精度微动台进给微球位置。本发明利用LabVIEW虚拟仪器软件开发微球球度测量控制系统，能实现微球球度的高精度测量，控制精度可达到纳米级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 labview 微球球度 高精度 测量 控制系统 | ||
【主权项】：
一种基于LabVIEW的微球球度高精度测量控制系统，其特征在于：包括两个差动音叉钨探针、分别控制两个音叉探针的两个X向纳米精度微动台和控制微球运动的一个Y向纳米精度微动台、微动台控制器、信号发生器、幅值反馈电路、数据采集卡和安装有LabVIEW的工业计算机；首先利用两个音叉探针在X方向构成左右差动结构，然后利用两个信号发生器激励两个音叉探针产生谐振，音叉探针振动的信号通过幅值反馈电路处理后经过数据采集卡由工业计算机内的LabVIEW读取，LabVIEW通过读取的音叉振动幅值大小确定音叉探针与被测球的距离，工业计算机给微动台控制器发送指令，通过微动台控制器控制两X向纳米精度微动台同时驱动音叉探针差动逼近微球进行测量，单次逼近完成后微动台控制器控制Y向纳米精度微动台进给微球位置，改变微球方向并重复上述测量步骤即可实现微球球度高精度测量。
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