[发明专利]多晶硅生产过程中的尾气处理方法及系统有效
| 申请号： | 201710976493.6 | 申请日： | 2017-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN109678158B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 张伟;王惠;宋高杰;陈朝霞;相文强;赵阳;董越杰;王强 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;B01D5/00;B01D53/00;B01D53/14;B01D53/18 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产过程中的尾气处理方法及系统，该方法包括以下步骤：(1)通过尾气冷却塔对尾气进行冷却液化分离，在尾气冷却塔的塔釜得到尾气冷却塔的塔釜液，初级混合物包括尾气冷却塔的塔釜液；(2)将初级混合物通入到分离塔进料进行精馏提纯，在分离塔的塔顶收集塔顶气，塔顶气包括氢气、氯化氢；在分离塔的塔顶侧线或上部采出侧线采出液，侧线采出液包括三氯氢硅、二氯二氢硅；收集分离塔的塔釜液，分离塔的塔釜液包括四氯化硅。在分离塔内实现尾气冷却塔的塔釜液中的氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅的分离，分离开的组分不是同系化合物，得到的均为占比要求不同的混合物，可满足下游工艺需求。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产过程 中的 尾气 处理 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅生产过程中的尾气处理方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将多晶硅生产过程中的尾气通过初步分离步骤得到初级混合物，所述初级混合物包括液相的氯硅烷、液相的氯化氢，所述初步分离步骤至少包括步骤(11)：通过尾气冷却塔对多晶硅生产过程中的尾气进行冷却液化分离，在尾气冷却塔的塔釜得到尾气冷却塔的塔釜液，所述初级混合物包括所述尾气冷却塔的塔釜液；(2)尾气冷却塔与分离塔连接，将初级混合物通入到分离塔进料进行精馏提纯，在分离塔的塔顶收集塔顶气，所述塔顶气包括氢气、氯化氢；在分离塔的塔顶侧线或分离塔的上部采出侧线采出液，所述侧线采出液包括三氯氢硅、二氯二氢硅；在分离塔的塔釜收集分离塔的塔釜液，所述分离塔的塔釜液包括四氯化硅。
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