[发明专利]微机械z加速度传感器有效
| 申请号： | 201710976930.4 | 申请日： | 2017-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN107976557B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | A·皮格勒尼耶;D·古格尔;G-N-C·乌尔希里;M·林克-莱斯卡纳;S·京特;T·赫尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/18;B81B3/00;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机械z加速度传感器(100)，所述微机械z加速度传感器具有：具有扭转弹簧(20)的振动质量元件(10)；其中，所述扭转弹簧(20)具有锚固元件(21)，所述扭转弹簧(20)借助所述锚固元件(21)连接到衬底上；其中，所述扭转弹簧(20)在两端处借助在所述振动质量元件(10)的平面内垂直于所述扭转弹簧(20)构造的梁状连接元件(30)与所述振动质量元件(10)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种微机械z加速度传感器(100)，其具有：具有扭转弹簧(20)的振动质量元件(10)；其中，所述扭转弹簧(20)具有锚固元件(21)，所述扭转弹簧(20)借助所述锚固元件(21)连接到衬底上；其中，所述扭转弹簧(20)在两端处借助在所述振动质量元件(10)的平面内法向于所述扭转弹簧(20)构造的梁状连接元件(30)与所述振动质量元件(10)连接。
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