[发明专利]一种阵列化、集成化的光增强型气体传感器及其制备方法

摘要

一种阵列化、集成化的光增强型气体传感器及其制备方法，涉及一种光增强型气体传感器，为了解决现有的光增强型气体传感器光源利用效率低，难以形成阵列化、集成化的问题。本发明的多个传感单元呈阵列排布，且集成一体并设置在管座上；敏感层、反射层和引出层依次对位叠层；敏感层实现目标气体浓度检测，反射层实现光的反射，引出层实现信号的整体传输；其制备方法为制作敏感层、反射层和引出层，对位叠层，得到一体化传感单元，烧结成型；分别与LED光源按照连接次序进行焊接并固定。有益效果为增加了传感器的灵敏度、响应及恢复时间等关键性能参数，制作方法简单，重复性提高，易于实现批量化生产，且更容易与其它传感器实现集成化设计制作。

主权项

一种阵列化、集成化的光增强型气体传感器，其特征在于，包括多个传感单元、管座(4)和LED光源(5)；所述多个传感单元呈阵列排布，且集成一体；多个传感单元均设置在管座(4)上；每个传感单元均包括敏感层(1)、反射层(2)和引出层(3)；敏感层(1)、反射层(2)和引出层(3)依次对位叠层；所述敏感层(1)的基片上设有第一过孔(1‑1)、第一引线(1‑2)、叉指电极(1‑4)、第二过孔(1‑7)、第二引线(1‑6)、第一焊盘(1‑3)和第二焊盘(1‑5)；叉指电极(1‑4)一端与第一引线(1‑2)的一端电连接，叉指电极(1‑4)的另一端与第二引线(1‑6)的一端电连接；所述反射层(2)的基片上设有第三过孔(2‑1)、第四过孔(2‑3)、第五过孔(2‑4)、第六过孔(2‑5)和反射膜(2‑2)；所述引出层(3)的基片上设有第一引出端(3‑1)、第二引出端(3‑2)、第三引出端(3‑3)和第四引出端(3‑4)；第一引线(1‑2)的另一端依次通过第一过孔(1‑1)和第三过孔(2‑1)并与第一引出端(3‑1)电连接；第二引线(1‑6)的另一端依次通过第二过孔(1‑7)和第四过孔(2‑3)并与第二引出端(3‑2)电连接；第三引出端(3‑3)穿过第五过孔(2‑4)与第一焊盘(1‑3)电连接；第四引出端(3‑4)穿过第六过孔(2‑5)与第二焊盘(1‑5)电连接；所述LED光源(5)的一端同时与多个传感单元的第一焊盘(1‑3)电连接，LED光源(5)的另一端同时与多个传感单元的第二焊盘(1‑5)电连接。