[发明专利]一种采用汇聚飞秒激光制备原位电镜样品的装置和方法

摘要

本发明涉及激光微区加工领域和电镜原位样品制备领域，具体涉及一种利用经汇聚的激光对电镜样品进行精细加工成型的装置和方法。该装置包括飞秒激光器及汇聚扫描系统、样品台机械数控移动系统、共轴显微观察定位系统、计算机集中数据监控及可视化系统、减震系统及防护系统。利用上述装置可以快速、方便地使用飞秒激光对各种电镜样品，如金属片、氧化铝陶瓷块、透明石英玻璃等，进行数控切割、打孔等精细加工。从而，通过本发明可以制备特定形状、缺口的原位电镜样品，结合电子显微镜原位观察技术，即可对某些特殊组织与结构进行力学、电学和腐蚀行为等的原位观察研究，具有加工面积广、精度高、无热影响区和无污染等优点。

主权项

一种采用汇聚飞秒激光制备原位电镜样品的装置，其特征在于，该装置包括：飞秒激光器及汇聚扫描系统、样品台机械数控移动系统、共轴显微观察定位系统、计算机集中数据监控及可视化系统、减震系统及防护系统，激光光源的飞秒激光从激光器中发出后，经过多级激光组合镜头汇聚后，与普通光光源的普通冷光经由不同的接口以同轴光的形式，接入到共轴显微观察定位系统；共轴显微观察定位系统和样品台机械数控移动系统通过USB线或网线与计算机集中数据监控及可视化系统相连，具体结构如下：激光光源和普通光光源分别通过一个接口以同轴光的形式，通过光缆接入激光汇聚及显微观察系统，并且激光光源和普通光光源通过电动切换开关进行切换；激光汇聚及显微观察系统与CCD摄像头的输入端连接，CCD摄像头的输出端和运动控制器的输入端通过USB线或网线与计算机连接，进行显微观察定位和数控编程；激光汇聚及显微观察系统配备不同倍数的长焦物镜，针对不同样品和加工要求进行观察选择；激光汇聚及显微观察系统设置于激光汇聚模块机械移动系统上，运动控制器的输出端与样品台机械数控移动系统连接，样品台机械数控移动系统设置于气浮减震平台上，气浮减震平台的进气端与气泵连接。