[发明专利]光谱共焦传感器和测量方法有效
| 申请号： | 201710984723.3 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107976145B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 久保光司 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光谱共焦传感器和测量方法。该光谱共焦传感器包括：光源部，用于射出具有不同波长的多个光束；多个光学头，用于将从所述光源部射出的所述多个光束会聚于不同的聚焦位置处，并且射出在所述聚焦位置处被测量点反射的测量光；分光器，其包括：线传感器，以及光学系统，其包括用于使从所述多个光学头射出的多个测量光束发生衍射的衍射光栅，并且向所述线传感器的不同的多个受光区域射出通过所述衍射光栅所衍射的所述多个测量光束；以及位置计算部，用于基于所述线传感器的所述多个受光区域各自的受光位置来计算作为所述多个光学头的测量对象的多个测量点的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 传感器 测量方法 | ||
【主权项】：
一种光谱共焦传感器，包括：光源部，用于射出具有不同波长的多个光束；多个光学头，用于将从所述光源部射出的所述多个光束会聚于不同的聚焦位置处，并且射出在所述聚焦位置处被测量点反射的测量光；分光器，其包括：线传感器，以及光学系统，其包括用于使从所述多个光学头射出的多个测量光束发生衍射的衍射光栅，并且向所述线传感器的不同的多个受光区域射出通过所述衍射光栅所衍射的所述多个测量光束中的各个测量光束；以及位置计算部，用于基于所述线传感器的所述多个受光区域各自的受光位置来计算作为所述多个光学头的测量对象的多个测量点各自的位置。
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