[发明专利]一种柔性变角度阵列衍射光学器件的热压式制作方法

摘要

一种柔性变角度阵列衍射光学器件的热压式制作方法，包括以下步骤：(一)单个衍射光学器件模具制作；(二)柔性变角度阵列衍射光学器件模具制作；(三)在热塑性塑料材料上制作柔性变角度阵列衍射光学器件，备好热塑性柔性材料，并清洁；使用所述柔性变角度阵列衍射光学器件模具，利用热压机进行热压，利用压力和热压时间控制压印深度，所述压印深度由二元衍射光学结构深度h确定；压印结束并冷却后，取下热塑性柔性材料并裁剪，沿Y轴将第1组和第N组一维二元衍射光学结构粘结起来，形成柔性变角度阵列衍射光学器件。本发明全波段散斑抑制效果好、运动方式简单、易于实现、且系统通用性、鲁棒性好、成本低廉。

主权项

1.一种柔性变角度阵列衍射光学器件的热压式制作方法，其特征在于：所述变角度是指柔性变角度阵列衍射光学器件中N组一维二元衍射光学结构与X轴的夹角是不同的，所述方法包括以下步骤：（一）单个衍射光学器件模具制作步骤1：制备好N个一维二元衍射光学结构的掩模版备用，所述N个掩模版分别对应本发明柔性变角度阵列衍射光学器件中的N组一维二元衍射光学结构；步骤2：选择硅片作为基底材料，并进行清洗；步骤3：在经过步骤2的清洁硅片上涂敷一层光刻胶，进行前烘，然后使用步骤1的掩模版曝光，之后显影、后烘，形成光刻胶图形结构，即样片；步骤4：在经过步骤3的样片上，生长一层厚度为100纳米至250纳米的铜薄膜，作为电铸阴极；步骤5：将经过步骤4的样片，置入电解液中电铸镍，镍的厚度控制在850纳米至1150纳米之间；步骤6：清洗经过步骤5的样片，去除残留的电解液，然后使用步骤3中光刻胶配套去胶剂去除光刻胶及其上的金属，制成单个衍射光学器件模具，所述单个衍射光学器件模具可反复多次使用；（二）柔性变角度阵列衍射光学器件模具制作步骤7：采用精密机械技术，加工模具固件备用，X轴定义为柔性变角度阵列衍射光学器件的长度方向，Y轴定义为柔性变角度阵列衍射光学器件的宽度方向；步骤8：根据柔性变角度阵列衍射光学器件的结构设计，选取N个制成的单个衍射光学器件模具安装在步骤7的模具固件上进行组合，之后紧固，制成柔性变角度阵列衍射光学器件模具；（三）在热塑性塑料材料上制作柔性变角度阵列衍射光学器件步骤9：备好热塑性柔性材料，并清洁；步骤10：使用所述柔性变角度阵列衍射光学器件模具，利用热压机进行热压，利用压力和热压时间控制压印深度，所述压印深度由二元衍射光学结构深度h确定；步骤11：压印结束并冷却后，取下步骤9的热塑性柔性材料并裁剪，沿X轴将第1组一维二元衍射光学结构和第N组一维二元衍射光学结构粘结起来，所述N组一维二元衍射光学结构首尾相连，形成柔性变角度阵列衍射光学器件。