[发明专利]感光性组合物及固化膜的形成方法在审
| 申请号： | 201710987198.0 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107976867A | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 山口尚人;竹川昌宏;伊藤阳介 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及感光性组合物及固化膜的形成方法。本发明的课题在于提供感光性组合物中的异物产生被抑制、且能良好地解析微细的图案的感光性组合物、和使用了该感光性组合物的固化膜的形成方法。在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)、和溶剂(S)的感光性组合物中配合胺(E)，组合使用肟酯化合物(C1)和肟酯化合物以外的化合物(C2)作为光聚合引发剂(C)，并且使感光性组合物中的氯化物离子量为1000质量ppm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 组合 固化 形成 方法 | ||
【主权项】：
感光性组合物，其包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)、溶剂(S)、和胺(E)，其中，所述光聚合引发剂(C)包含肟酯化合物(C1)、和所述肟酯化合物以外的化合物(C2)，所述感光性组合物中的氯化物离子量为1000质量ppm以下。
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