[发明专利]一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置及方法在审
| 申请号： | 201710990339.4 | 申请日： | 2017-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN107608177A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 谷岩;林洁琼;卢明明;李景鹏;张群;孙慧岩;郑恭承;易正发;冯开拓;曹东旭;刘阳;孙彦东 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司22100 | 代理人： | 魏征骥 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置及方法，涉及紫外纳米压印领域。收卷辊用于将衬底卷收起来，放卷辊用于放出衬底，滚筒压印装置位于收卷辊和放卷辊之间，收卷辊与放卷辊工作时保持同步旋转，涂胶装置中含有光刻胶，用于在衬底上涂抹一层均匀的光刻胶，滚筒压印装置用于将压印模板上的微小图案压印于涂完胶的衬底上，支撑辊一，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四，均为可透光的圆柱形，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四中均放置有紫外固化装置。优点是精确调控各模板以及紫外灯可固化的距离，能够制造出超大面积的纳米压印无缝图案，加入了多个压印辊同时进行压印超大型图案，提高了纳米压印的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 超大 面积 纳米 压印 无缝 图案 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置，其特征在于：收卷辊用于将衬底卷收起来，放卷辊用于放出衬底，滚筒压印装置位于收卷辊和放卷辊之间，收卷辊与放卷辊工作时保持同步旋转，涂胶装置中含有光刻胶，用于在衬底上涂抹一层均匀的光刻胶，滚筒压印装置用于将压印模板上的微小图案压印于涂完胶的衬底上，支撑辊一，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四，均为可透光的圆柱形，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四中均放置有紫外固化装置，上述所有支撑辊均由石英制成，张力辊用于调节衬底之间的张力，使衬底处于紧绷状态。
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