[发明专利]气敏传感器及其制造方法、检测设备在审
| 申请号： | 201710991795.0 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN107589153A | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 班圣光 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 张海强 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种气敏传感器及其制造方法、检测设备，涉及传感器技术领域。气敏传感器包括绝缘基板、气敏元件、第一电极和第二电极。气敏元件设置在绝缘基板上且具有三维纳米网状结构。第一电极和第二电极位于气敏元件的相对两侧。本公开可以提高气敏传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 制造 方法 检测 设备 | ||
【主权项】：
一种气敏传感器，包括：绝缘基板；气敏元件，设置在所述绝缘基板上且具有三维纳米网状结构；以及第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极位于所述气敏元件的相对两侧。
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