[发明专利]基于对称离焦双探测器的自聚焦激光扫描投影装置

摘要

基于对称离焦双探测器的自聚焦激光扫描投影装置属于先进加工制造技术领域。现有技术定焦准确度低，光强自动搜索扫描的横向分辨力低。本发明其特征在于，在1/4波片之后设置双轴扫描振镜；在偏振分光棱镜的标定反射光光路上设置对称离焦双探测器光强探测模块；在对称离焦双探测器光强探测模块中，在分光棱镜的透射、反射光路上各配备一组汇聚物镜、点探测针孔和光电探测器，点探测针孔位于汇聚物镜与光电探测器之间，两个光电探测器的感光面分别相对于各自对应的汇聚物镜离焦+ΔZ、‑ΔZ；两个光电探测器各自的光强电信号输出端分别连接到测量控制模块的两个光强模拟信号输入端；测量控制模块的调焦驱动信号输出端连接到动态自聚焦模块中的精密位移机构。

主权项

一种基于对称离焦双探测器的自聚焦激光扫描投影装置，其组成部分包括激光器(1)、双轴扫描振镜(4)、测量控制模块(6)、计算机(7)，计算机(7)与测量控制模块(6)连接；测量控制模块(6)的扫描驱动信号输出端连接到双轴扫描振镜(4)中的精密转角机构(9)，所述测量控制模块(6)是一块多功能数据采集卡；其特征在于，激光器(1)、扩束准直镜组(17)、动态自聚焦模块(18)、偏振分光棱镜(19)、1/4波片(20)依次同轴排列；在偏振分光棱镜(19)的扫描透射光光路上，且在1/4波片(20)之后设置双轴扫描振镜(4)；在偏振分光棱镜(19)的标定反射光光路上设置对称离焦双探测器光强探测模块(21)；在对称离焦双探测器光强探测模块(21)中，在分光棱镜(22)的透射、反射光路上各配备一组汇聚物镜(14)、点探测针孔(23)和光电探测器(15)，点探测针孔(23)位于汇聚物镜(14)与光电探测器(15)之间，两个光电探测器(15)的感光面分别相对于各自对应的汇聚物镜(14)离焦+ΔZ、‑ΔZ；两个光电探测器(15)各自的光强电信号输出端分别连接到测量控制模块(6)的两个光强模拟信号输入端；测量控制模块(6)的调焦驱动信号输出端连接到动态自聚焦模块(18)中的精密位移机构(8)。