[发明专利]自动测方阻设备

摘要

本发明涉及一种自动测方阻设备，通过控制部分控制上料区将装满硅片的花篮输送至下片区，下片区将花篮内的硅片逐一卸下并输送至第一缓存区，第一缓存区将硅片输送至校正区，校正区将硅片校正后输送至测试区进行方阻测试，通过方阻测试完成的硅片被输送至第二缓存区，通过控制部分控制，跟设定标准对比后通过分片区分片后，将超过设定标准上限和超过设定标准下限的硅片分出，仅将方阻测试结果在正常范围内的硅片输送至上片区，并通过上片区将硅片放置在花篮上，最终将装满硅片的花篮通过下料区输送出去；有效避免了人工取片与测片带来的污染、破片与划伤的问题；自动化测试硅片方阻，大大提高了测试效率，可完成批量检测。

主权项

一种自动测方阻设备，其特征在于：包括上料部分、测试部分、下料部分和控制部分，所述上料部分包括上料区(1)、下片区(2)、第一缓存区(3)和校正区(4)，所述测试部分包括测试区(5)，所述下料部分包括第二缓存区(6)、分片区(7)、上片区(8)和下料区(9)，所述上料区(1)、下片区(2)、第一缓存区(3)、校正区(4)、测试区(5)、第二缓存区(6)、分片区(7)、上片区(8)和下料区(9)呈流水线依次设置，所述控制部分分别控制上料区(1)、下片区(2)、第一缓存区(3)、校正区(4)、测试区(5)、第二缓存区(6)、分片区(7)、上片区(8)和下料区(9)。