[发明专利]基板传送系统及方法

摘要

本公开提供一种基板传送系统，包括皮带、滚轮、基板传送组件、位置感测器、及驱动机构。滚轮配置用以带动皮带滚动。基板传送组件连接皮带并用以传送基板。位置感测器配置用以检测皮带在滚轮的轮轴方向上的位置。驱动机构配置用以驱动滚轮沿着轮轴方向移动，使得皮带保持在轮轴方向上的一既定位置范围内。本公开提供的基板传送系统可以延长皮带的使用寿命及降低皮带突然断裂的机会(亦即，提高基板传送系统的信赖度及可利用性)，降低基板的报废率，并提高各制程的良率。

主权项

1.一种基板传送系统，包括：一皮带；一滚轮，配置用以带动该皮带滚动；一基板传送组件，连接该皮带，用以传送一基板；一位置感测器，配置用以检测该皮带在该滚轮的一轮轴方向上的位置；以及一驱动机构，配置用以驱动该滚轮沿着该轮轴方向移动，使得该皮带保持在该轮轴方向上的一既定位置范围内。