[发明专利]一种氧化石墨烯薄膜多层微纳图形的制备装置及方法有效
| 申请号： | 201710996028.9 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN107720690B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 秦成兵;乔志星;张国峰;肖连团;贾锁堂 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 14105 山西五维专利事务所(有限公司) | 代理人： | 雷立康<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 030006*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化石墨烯薄膜多层微纳图形的制备装置及方法，目的是解决难以在多层材料上同时实现微纳图形制备的技术问题，本发明的技术方案是：一种氧化石墨烯薄膜多层微纳图形的制备装置，包括：激光器、声光调制器、反射镜、扩束镜、光阑、二向色镜、物镜、三维精密位移台、发射滤色片、透镜、光电探测器和电脑；本发明的氧化石墨烯薄膜多层微纳图形的制备方法，以氧化石墨烯和透明的聚乙烯醇为原料，以激光可控还原氧化石墨烯获得特定荧光强度为手段，实现了在多层氧化石墨烯薄膜上对任意微纳图形的刻写，该不改变薄膜结构形态，可以实现多层微纳图形的同时制备，制作过程简单，制备价格低廉，扩展了微纳图形的应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 石墨 薄膜 多层 图形 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化石墨烯薄膜多层微纳图形的制备装置，其特征在于，包括：激光器(1)、声光调制器(2)、反射镜(3)、扩束镜(4)、光阑(5)、二向色镜(6)、物镜(7)、三维精密位移台(9)、发射滤色片(10)、透镜(11)、光电探测器(12)和电脑(13)；所述声光调制器(2)设在激光器(1)的出射光路上，所述反射镜(3)设在声光调制器(2)的出射光路上，所述扩束镜(4)、光阑(5)和二向色镜(6)依次设在反射镜(3)的反射光路上，所述物镜(7)和三维精密位移台(9)依次设在二向色镜(6)的反射光路上；所述发射滤色片(10)、透镜(11)和光电探测器(12)依次设在二向色镜(6)的透射光路上，所述二向色镜(6)的反射光路和透射光路方向相反；所述电脑(13)上安装有三维精密位移控制程序、图像转换程序、声光调制器电压控制程序和微纳图形成像程序，所述三维精密位移控制程序用于对所述三维精密位移台(9)进行位置调整，所述图像转换程序用于将灰度图转换为二维矩阵，所述声光调制器电压控制程序根据二维矩阵的矩阵元数值调节声光调制器(2)的工作电压，所述微纳图形成像程序用于将光电探测器(12)探测的荧光信号进行成像；电脑(13)通过数据线分别与声光调制器(2)的信号输入端、三维精密位移台(9)的信号输入端和光电探测器(12)的信号输出端连接。/n
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