[发明专利]药液供应装置及包括药液供应装置的药液吐出装置

摘要

本发明公开药液供应装置及含其的药液吐出装置。药液供应装置可包括用于向基板上吐出药液的喷墨头、储存向喷墨头供应的药液的储存槽及利用预定的压力从储存槽向喷墨头供应药液的药液供应单元。药液供应单元可包括生成预定的压力的压力生成部件、连接压力生成部件和储存槽的连接线路、感测连接线路处的当前的压力的感测部件、将连接线路处的当前的压力调整为设定压力的压力调整部件、切断感测部件与外部环境的切断部件及通过控制压力调整部件将感测部件感测的当前的压力调整为设定压力使得残留于喷墨头的喷嘴端部的药液保持所需状态的弯液面的控制部件。药液供应装置不受外部环境的影响，利用预定的压力从储存槽向喷墨头稳定地供应药液。

主权项

1.一种药液供应装置，用于利用预定的压力从储存槽向喷墨头供应药液，其特征在于，包括：压力生成部件，其形成所述预定的压力；连接线路，其连接所述压力生成部件和所述储存槽；感测部件，其在所述连接线路感测当前的压力；压力调整部件，其将所述感测部件感测的所述当前的压力调整为设定压力；切断部件，其分离所述感测部件与外部环境；控制部件，其通过控制所述压力调整部件将所述感测部件感测的所述当前的压力调整为所述设定压力使得残留于所述喷墨头的喷嘴端部的所述药液保持所需状态的弯液面；以及腔体，其提供收容所述连接线路的一部分、所述压力调整部件、所述感测部件及所述切断部件的空间以使所述连接线路的一部分、所述压力调整部件、所述感测部件及所述切断部件分离于所述外部环境。