[发明专利]一种大可控行程微作动器

摘要

本发明提供一种大可控行程微作动器，包括：动极板、极板底座、嵌入式镍极板弹簧和定极板，其中：所述嵌入式镍极板弹簧呈“一”字形，伸入所述动极板中央，沿所述动极板中轴线对称布置在所述动极板中央的两侧，所述嵌入式镍极板弹簧一端固定在所述极板底座长度方向的中点上，另一端固定在所述动极板中央，所述嵌入式镍极板弹簧在所述动极板运动过程中产生的弹性回复力与弹簧变形量为非线性关系。本发明明显提高了微机械作动器的可控行程、降低了驱动电压，同时减少了对响应速度的不利影响。

主权项

1.一种大可控行程微作动器，其特征在于，包括：动极板、极板底座、嵌入式镍极板弹簧和定极板，其中：所述极板底座位于所述定极板的两侧，所述动极板通过所述嵌入式镍极板弹簧、所述极板底座固定在所述定极板的正上方，能够相对于所述定极板上下运动；所述动极板、定极板之间为工作气隙；所述嵌入式镍极板弹簧呈“一”字形，伸入所述动极板中央，沿所述动极板中轴线对称布置在所述动极板中央的两侧，所述嵌入式镍极板弹簧一端固定在所述极板底座长度方向的中点上，另一端固定在所述动极板中央，所述嵌入式镍极板弹簧在所述动极板运动过程中产生的弹性回复力与弹簧变形量为非线性关系；所述动极板上包含加强筋，以使所述动极板本身的结构刚度远大于所述嵌入式镍极板弹簧的刚度，在所述动极板上下运动时，保持平动状态而不发生扭转，从而使得所述动极板下方不同平面位置上的工作气隙保持相同。