[发明专利]一种新型的单晶硅切割平台在审
申请号: | 201711006710.5 | 申请日: | 2017-10-25 |
公开(公告)号: | CN107696309A | 公开(公告)日: | 2018-02-16 |
发明(设计)人: | 王志勇;吴涛;刘瑞鹏;刘建强;崔朝坤 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了提供了一种新型的单晶硅切割平台,其包括承载台,承载台为方形台,在承载台两侧上相对称的设有导向沿5,位于导向沿之间在承载台上设有一滑移托台2,所述的滑移托台为扁台体,滑移托台刚好嵌合在两个导向沿之间,滑移托台与导向沿间隙配合以保持自由滑移能力,通过设置合适的结构,实现了固定效果佳,切割效果良好的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 单晶硅 切割 平台 | ||
【主权项】:
一种新型的单晶硅切割平台,其特征在于:包括承载台,在承载台上设有相对称的导向沿(5),位于导向沿之间设有一滑移托台(2),在滑移托台的上表面设有多个用于与晶托相固定吻合的晶托槽(3)。
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