[发明专利]一种氢氘标准气的制备装置和制备方法

摘要

本发明属于标准气体制备技术领域，涉及一种氢氘标准气的制备装置和制备方法。所述的制备装置包括氢气原料气钢瓶、氘气原料气钢瓶、氢气输送管路、氘气输送管路、气体输送主管路、气体输送旁路管路、普通压力表、高精度压力表、配气瓶、真空机组、质量比较仪、参比气瓶、阀门。利用本发明的氢氘标准气的制备装置和制备方法，能够在配制精度要求高时，在配制低丰度氢氘标准气(氘丰度小于等于1％)时采用重量法，在配制中高丰度氢氘标准气(氘丰度大于1％)时采用体积法；在配制精度要求不高时，任选重量法或体积法中的一种进行氢氘标准气的配制。

主权项

一种氢氘标准气的制备装置，其特征在于：所述的制备装置包括氢气原料气钢瓶、氘气原料气钢瓶、氢气输送管路、氘气输送管路、气体输送主管路、气体输送旁路管路、普通压力表、高精度压力表、配气瓶、真空机组、质量比较仪、参比气瓶、阀门，所述的氢气原料气钢瓶和氘气原料气钢瓶分别提供的氢气原料气和氘气原料气，分别经所述的氢气输送管路和氘气输送管路输送后，共用所述的气体输送主管路进行输送，所述的气体输送主管路的末端连接有用于抽真空的所述的真空机组；各条所述的气体输送旁路管路一端连接所述的气体输送主管路，另一端分别连接所述的普通压力表、高精度压力表、配气瓶、参比气瓶；所述的配气瓶用于配制所述的氢氘标准气；所述的质量比较仪用于称量所述的配气瓶连同其中气体的重量；所述的参比气瓶与所述的配气瓶规格相同，用于根据质量比较仪的称重结果与参比气瓶的重量差值计算所述的配气瓶中充入气体的重量；所述的阀门设置在所述的氢气输送管路、氘气输送管路、各条所述的气体输送旁路管路，以及所述的气体输送主管路连接各条所述的气体输送旁路管路之前和之后的管路上。