[发明专利]一种用于圆柱形晶片研磨的调径式游星轮在审
申请号: | 201711007273.9 | 申请日: | 2017-10-25 |
公开(公告)号: | CN107498455A | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
发明(设计)人: | 沈斌斌 | 申请(专利权)人: | 德清凯晶光电科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/28 | 分类号: | B24B37/28 |
代理公司: | 杭州千克知识产权代理有限公司33246 | 代理人: | 赵卫康 |
地址: | 313000 浙江省湖州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及晶片研磨领域,具体涉及一种用于圆柱形晶片研磨的调径式游星轮,包括同心设置的基体齿盘和定位盘,所述基体齿盘外圈设置有齿,所述基体齿盘内部圆周均布有若干调径孔,所述定位盘包括活动轮和卡位环;所述调径孔包括,调径环和调径杆,所述调径环套设与所述调径孔内,所述调径环通过连杆与所述活动轮相连,所述调径杆包括,铰接固定端和滑动槽,其中铰接固定端铰接固定在所述基体齿盘上,所述调径环包括顶环和底环,所述顶环和底环之间通过立柱相连,所述立柱贯穿所述滑动槽,并且所述调径杆通过所述滑动槽在所述立柱的限位作用下滑动。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 圆柱形 晶片 研磨 调径式 游星 | ||
【主权项】:
一种用于圆柱形晶片研磨的调径式游星轮,其特征在于,包括:同心设置的基体齿盘(1)和定位盘(2),所述基体齿盘(1)外圈设置有齿,所述基体齿盘(1)内部圆周均布有若干调径孔(11),所述定位盘(2)包括活动轮(21)和卡位环(22);所述调径孔(11)包括,调径环(111)和调径杆(112),所述调径环(111)套设与所述调径孔(11)内,所述调径环(111)通过连杆(13)与所述活动轮(21)相连,所述调径杆(112)包括,铰接固定端(1121)和滑动槽(1122),其中铰接固定端(1121)铰接固定在所述基体齿盘(1)上,所述调径环(111)包括顶环(1111)和底环(1112),所述顶环(1111)和底环(1112)之间通过立柱(1113)相连,所述立柱(1113)贯穿所述滑动槽(1122),并且所述调径杆(112)通过所述滑动槽(1122)在所述立柱(1113)的限位作用下滑动。
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