[发明专利]光致抗蚀剂面漆组合物和加工光致抗蚀剂组合物的方法在审
| 申请号： | 201711009144.3 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN108020987A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 刘骢;D·H·康;D·王;C-B·徐;李明琦;I·考尔 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
光致抗蚀剂面漆组合物，其包含：包含通式(I)的第一重复单元和通式(II)的第二重复单元的第一聚合物： |
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| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂面漆 组合 加工 光致抗蚀剂 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂面漆组合物，其包含：第一聚合物，其包含通式(I)的第一重复单元和通式(II)的第二重复单元：1 独立地表示H、F或任选氟化的C1到C4烷基；R2 表示任选氟化的直链、分支链或环状C1到C20烷基；L1 表示单键或多价键联基团；并且n为1到5的整数；第二聚合物，其包含通式(III)的第一重复单元和通式(IV)的第二重复单元：3 独立地表示H、F或任选氟化的C1到C4烷基；R4 表示直链、分支链或环状C1到C20烷基；R5 表示直链、分支链或环状C1到C20氟烷基；L2 表示单键或多价键联基团；并且n为1到5的整数；以及溶剂。
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