[发明专利]光致抗蚀剂面漆组合物和加工光致抗蚀剂组合物的方法在审
申请号: | 201711009144.3 | 申请日: | 2017-10-25 |
公开(公告)号: | CN108020987A | 公开(公告)日: | 2018-05-11 |
发明(设计)人: | 刘骢;D·H·康;D·王;C-B·徐;李明琦;I·考尔 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/20 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋;胡嘉倩 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
光致抗蚀剂面漆组合物,其包含:包含通式(I)的第一重复单元和通式(II)的第二重复单元的第一聚合物: |
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搜索关键词: | 光致抗蚀剂面漆 组合 加工 光致抗蚀剂 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光致抗蚀剂面漆组合物,其包含:第一聚合物,其包含通式(I)的第一重复单元和通式(II)的第二重复单元: 其中:R1 独立地表示H、F或任选氟化的C1到C4烷基;R2 表示任选氟化的直链、分支链或环状C1到C20烷基;L1 表示单键或多价键联基团;并且n为1到5的整数;第二聚合物,其包含通式(III)的第一重复单元和通式(IV)的第二重复单元: 其中:R3 独立地表示H、F或任选氟化的C1到C4烷基;R4 表示直链、分支链或环状C1到C20烷基;R5 表示直链、分支链或环状C1到C20氟烷基;L2 表示单键或多价键联基团;并且n为1到5的整数;以及溶剂。
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