[发明专利]半导体激光器、光源单元和激光照射装置有效
| 申请号： | 201711010427.X | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN108110616B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 福田和久 | 申请（专利权）人： | 瑞萨电子株式会社 |
| 主分类号： | H01S5/227 | 分类号： | H01S5/227;H01S5/22 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体激光器、光源单元和激光照射装置。为了改善来自具有锥形波导结构的半导体激光器的激光的质量和输出。一种波导，包括窄波导、宽波导和锥形波导。所述宽波导的宽度Ww比所述窄波导的宽度Wn宽。所述锥形波导使其宽度连续变化，以便分别耦合所述窄波导和所述宽波导。设所述波导的长度为L、面积为S，则满足Ks＝S/(Wn·L)以及1ks≤1.5。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体激光器 光源 单元 激光 照射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体激光器，包括：第一波导，在谐振器的纵向方向上延伸，具有第一宽度；第二波导，在所述谐振器的纵向方向上从所述谐振器的第一端面延伸，并且具有比所述第一宽度宽的第二宽度；第三波导，在所述谐振器的纵向方向上从所述谐振器的第二端面延伸，并且具有所述第二宽度；第一锥形波导，所述第一锥形波导的宽度连续地变化，以便将所述第一波导和所述第二波导耦合；以及第二锥形波导，所述第二锥形波导的宽度连续地变化，以便将所述第一波导和所述第三波导耦合，其中，设所述第一宽度为Wn、作为谐振器的长度的第一至第三波导以及所述第一锥形波导和所述第二锥形波导在所述谐振器的纵向方向上的总长度为L、在与半导体基板垂直的方向看时的第一至第三波导以及所述第一锥形波导和所述第二锥形波导的总面积为S，则满足下述公式(1)和公式(2)，其中第一至第三波导以及所述第一锥形波导和所述第二锥形波导形成在所述半导体基板上，Ks＝S/(Wn·L) (1)1<ks≤1.5 (2)。
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