[发明专利]基于SiC功率器件的全桥LLC谐振型等离子体电源有效
| 申请号： | 201711017397.5 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN107707136B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 王振民;范文艳;谢芳祥 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H02M7/217 | 分类号： | H02M7/217;H02M7/5387;H02M3/335 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 霍健兰;梁莹 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于SiC功率器件的全桥LLC谐振型等离子体电源，其特征在于：包括主电路和控制电路；所述主电路包括依次连接的整流滤波模块、高频全桥逆变模块、高频变压模块和快速整流滤波模块；所述整流滤波模块与三相交流输入电源连接，快速整流滤波模块与负载连接；其中，高频全桥逆变模块采用全桥逆变LLC型零电压软开关拓扑结构；所述高频全桥逆变模块、高频变压模块、快速整流滤波模块分别与控制电路连接，以实现由控制电路控制电源输出。该等离子体电源效率高，具有高功率密度，可靠性高，可降低电磁干扰强度并能够实现较大功率输出，具有良好动态响应性能，有利于实现对等离子体负载的高速精确调控。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 sic 功率 器件 llc 谐振 等离子体 电源 | ||
【主权项】：
一种基于SiC功率器件的全桥LLC谐振型等离子体电源，其特征在于：包括主电路和控制电路；所述主电路包括依次连接的整流滤波模块、高频全桥逆变模块、高频变压模块和快速整流滤波模块；所述整流滤波模块与三相交流输入电源连接，快速整流滤波模块与负载连接；其中，高频全桥逆变模块采用全桥逆变LLC型零电压软开关拓扑结构；所述高频全桥逆变模块、高频变压模块、快速整流滤波模块分别与控制电路连接，以实现由控制电路控制电源输出。
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