[发明专利]一种裸电极和介质阻挡两用的等离子体射流发生装置

摘要

本发明提供了一种裸电极和介质阻挡两用的等离子体射流发生装置，属于等离子体放电反应器技术领域。利用大气压冷等离子体射流可以对金属材料或者非金属材料进行表面改性。该冷等离子体射流发生装置可以实现裸电极放电和介质阻挡放电两种放电形式。介质阻挡放电的活性粒子浓度较高但同时易与金属等导体发生击穿，适用于对非金属材料快速改性、灭菌；裸电极放电产生的冷等离子体射流温度较低且不会与金属表面发生击穿放电。本装置可根据不同应用场合需求，仅通过插入和移除绝缘套管，即可产生不同放电形式的冷等离子体射流，无需为两种放电形式的冷等离子射流设计两套专用装置。

主权项

一种裸电极和介质阻挡两用的等离子体射流发生装置，其特征在于，所述的等离子体射流发生装置包括高压电源(5)、工作气源(6)、气体减压阀(7)、气体质量流量控制器(8)、等离子体发生器(1)和绝缘套管(4)；高压电源(5)的高压输出接等离子体发生器(1)的高压针电极(2)，低压输出接等离子体发生器(1)的喷嘴电极，高压电源(5)地线接地；工作气源(6)经气体减压阀(7)调整压力后，接气体质量流量控制(8)入口，通过调整气体质量流量控制器(8)参数，对气体流量进行调节；气体质量流量控制器(8)出口接等离子体发生器(1)壳体尾部；等离子体发生器(1)的壳体正中设有中心孔，中心孔的孔径与高压针电极(2)外径相同，用以固定高压针电极(2)，高压针电极(2)前端套有绝缘套管(4)；中心孔的周围均布小通孔，以将工作气体运输至等离子体发生区域；等离子体发生器(1)的壳体前端攻有螺纹，连接喷嘴电极；喷嘴电极为锥台状，尾部与壳体前端连接，顶部有一圆形通孔，当放电形式为裸电极放电时，冷等离子体射流从此处射出；当绝缘套管(4)套在高压针电极(2)尖端外、喷嘴电极内时，放电形式为介质阻挡放电，冷等离子体射流由绝缘套管内喷出。