[发明专利]一种高通量材料芯片四探针原位电阻测量设备在审
| 申请号： | 201711019802.7 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN107727697A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 李平;谭奇伟;安富强;刘志伟;曲选辉;秦明礼 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01N27/14 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高通量材料芯片四探针原位电阻测量设备，属于材料测试技术领域。该设备包括高通量四探针探头、耐高温高压气密罐体、样品架台、多通道四探针电阻测试仪、传输线缆和数据记录软件；样品架台位于耐高温高压气密罐体内，高通量四探针探头安装在样品架台上，高通量四探针探头通过传输线缆连接多通道四探针电阻测试仪，数据记录软件安装于上位机，接收来自多通道四探针电阻测试仪测量的数据。本发明能够在高温高压气体环境下，同时测量和记录多达64个样品的四探针电阻随时间、气压、温度等参数的变化，具备足够的精度和可靠性，极高的数据采集频率，低廉的硬件成本和简单的操作方法，同时也可以满足对少量样品电阻精确测量的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通量 材料 芯片 探针 原位 电阻 测量 设备 | ||
【主权项】：
一种高通量材料芯片四探针原位电阻测量设备，其特征在于：包括高通量四探针探头(1)、耐高温高压气密罐体(2)、样品架台(3)、多通道四探针电阻测试仪(6)、传输线缆(5)和数据记录软件(7)；样品架台(3)位于耐高温高压气密罐体(2)内，高通量四探针探头(1)安装在样品架台(3)上，高通量四探针探头(1)通过传输线缆(5)连接多通道四探针电阻测试仪(6)，数据记录软件(7)安装于上位机，数据记录软件(7)接收来自多通道四探针电阻测试仪(6)测量的数据，并进行实时显示和记录。
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