[发明专利]表面被覆部件及其制造方法

摘要

本发明提供了一种具有改善的稳定性和更长的使用寿命的表面被覆部件。该表面被覆部件包括基体以及在其表面上形成的硬质覆膜。该硬质覆膜由至少一层形成，并且所述层中的至少一层包含硬质颗粒，所述硬质颗粒包括第一单元层和第二单元层交替层叠的多层结构。第一单元层包含第一化合物，其包含选自在日本使用的元素周期表中的第四族元素、第五族元素、第六族元素和Al构成的组中的至少一种元素，以及选自B、C、N和O构成的组中的至少一种元素。第二单元层包含第二化合物，其包含选自在日本使用的元素周期表中的第四族元素、第五族元素、第六族元素和Al构成的组中的至少一种元素，以及选自B、C、N和O构成的组中的至少一种元素。

主权项

一种表面被覆部件，包括基体部件以及在其表面上形成的硬质覆膜，所述硬质覆膜由一层或者多层构成，所述层中的至少一层为包含硬质颗粒的层，其中所述包含硬质颗粒的层是通过CVD方法制造的，所述硬质颗粒包括具有交替层叠的第一单元层和第二单元层的多层结构，所述第一单元层包含第一化合物，所述第一化合物由选自在日本使用的元素周期表中的第四族元素、第五族元素、第六族元素和Al构成的组中的一种或多种元素与选自B、C、N和O构成的组中的一种或多种元素形成，所述第二单元层包含第二化合物，所述第二化合物由选自在日本使用的元素周期表中的第四族元素、第五族元素、第六族元素和Al构成的组中的一种或多种元素与选自B、C、N和O构成的组中的一种或多种元素形成，其中，层周期的厚度为大于或等于0.5nm且小于或等于20nm，所述层周期的厚度由从所述第一单元层的一个第一单元层穿过与所述一个第一单元层相邻的所述第二单元层而到达另一个相邻的第一单元层的距离来表示。