[发明专利]用于微波等离子体增强化学气相沉积的波导同轴转换器有效
| 申请号： | 201711020164.0 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107946715B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 李国林;邱永峰;张泽海;杜广星 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | H01P5/103 | 分类号： | H01P5/103;H05H1/46 |
| 代理公司： | 43226 长沙中科启明知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 任合明 |
| 地址： | 410003 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及微波等离子体增强化学气相沉积技术领域的波导同轴转换器，尤其是一种用于微波等离子体增强化学气相沉积装置，可支持微波高效率传输、低电极污染的矩形波导同轴转换器。由馈入波导、聚四氟乙烯挡板、矩形波导腔、渐变角锥铜块、水冷铝块、通风圆波导、屏蔽网、短路滑块、驻波腔、同轴内导体以及同轴外导体组成；本发明由于采用全金属渐变结构，传输效率可以达到接近100%水平；采用水冷结构、通风风冷结构，可使同轴段、角锥渐变铝块温度降低，尽可能防止电极污染；采用屏蔽网、通风圆波导尺寸的选择，微波泄漏安全可控。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微波 等离子体 增强 化学 沉积 波导 同轴 转换器 | ||
【主权项】：
1.用于微波等离子体增强化学气相沉积的波导同轴转换器，其特征在于：所述波导同轴转换器由馈入波导、聚四氟乙烯挡板、矩形波导腔、渐变角锥铜块、水冷铝块、通风圆波导、屏蔽网、短路滑块、驻波腔、同轴内导体以及同轴外导体组成；其中，馈入波导连接于矩形波导腔的下方，中间由聚四氟乙烯挡板隔开；在矩形波导腔宽边的中心位置放置渐变角锥铜块，渐变角锥铜块与同轴内导体连接，矩形波导腔右侧连接同轴外导体；在矩形波导腔的上侧连接驻波腔，驻波腔上壁由短路滑块组成，短路滑块与通风圆波导连接，通风圆波导与自由空间之间由屏蔽网隔开；渐变角锥铜块底部通过矩形波导腔的左侧壁与水冷铝块紧贴；/n馈入波导由工作频率覆盖2.45GHz的BJ-26标准金属波导构成，馈入波导的宽边a＝86.4mm，窄边b＝43.2mm，馈入波导的长度由微波源决定，至少20mm，以方便装配；馈入波导用于馈入2.45GHz的千瓦级大功率微波；/n聚四氟乙烯挡板由长a
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