[发明专利]平坦衬底边缘与开放体积接触的平衡途径和侧封

摘要

本发明提供了平坦衬底边缘与开放体积接触的平衡途径和侧封，具体提供了用于衬底处理系统的基座，其包括具有面向衬底的表面的基座主体。环形带布置在面向衬底的表面上，该表面构造成支撑衬底的径向外边缘。腔被限定在基座主体的面向衬底的表面中并且位于环形带的径向内侧。腔在衬底的底表面和基座主体的面向衬底的表面之间产生体积。多个排气孔通过基座主体并且与腔流体连通，以在处理期间使衬底的相对面上的压力平衡。

主权项

1.一种用于衬底处理系统的基座，其包括：基座主体，其包括面向衬底的表面；环形带，其布置在所述面向衬底的表面上，其构造成支撑所述衬底的径向外边缘；以及腔，其被限定在所述基座主体的所述面向衬底的表面中并且位于所述环形带的径向内侧，其中所述腔在所述衬底的底表面和所述基座主体的所述面向衬底的表面之间产生体积；以及多个排气孔，其通过所述基座主体并与所述腔流体连通，以在处理期间使所述衬底的相对面上的压力平衡。