[发明专利]一种制备SiO粉末的装置

摘要

一种制备SiO粉末的装置，涉及一氧化硅的制备技术领域，本装置将熔融反应装置和水冷沉积装置结合来制备SiO粉末，在熔融反应容器中生成SiO蒸汽进而通过反应容器侧壁上的SiO蒸汽导气管导流至水冷沉积装置内进行冷却沉积，在所述反应容器侧壁上设置有氩气进气孔，在反应容器内石英棒周围设置有倒圆锥形挡板，倒圆锥形挡板的上端与反应容器上端的通气孔边框连接，以使自反应容器上端进气口进入的氩气，沿石英棒环形进入坩埚内多晶硅粉与石英棒的反应界面，将生成的SiO蒸汽吹入炉膛内部，再经气体导流通道导出至水冷沉积装置内进行冷却沉积，整个反应过程简单、易操作、效率高。

主权项

一种制备SiO粉末的装置，其特征在于：包括熔融反应装置和水冷沉积装置，水冷沉积装置设置在熔融反应装置的一侧，以对熔融反应装置生成的SiO蒸汽进行冷却沉积，生成SiO粉末，熔融反应装置包括反应容器、坩埚、加热装置、钼反射屏和保温层，反应容器为柱形容器，坩埚通过安装底座设置在反应容器底部中心，以用来盛放多晶硅粉，在反应容器顶部中心位置设置有固定孔，在固定孔内安装有钼夹，以将石英棒固定于坩埚上方，进而通过石英棒与多晶硅粉熔融反应生成SiO蒸汽，坩埚包括石墨坩埚和石英坩埚，石墨坩埚套在石英坩埚外层，以对内层的石英坩埚起到保温和支撑作用，加热装置环形设置在反应容器内石墨坩埚的外侧四周，以对石墨坩埚和石英坩埚进行加热；钼反射屏封闭设置在加热装置的外侧四周且设置在反应容器内，以阻隔加热装置的热量散出，同时将热量反射至炉膛内，从而保证坩埚周围的热量均匀集中；保温层封闭设置在反应容器外层四周，以使反应容器内的温场保持恒定；在钼夹两侧设置有贯穿的进气孔，以向反应容器内充入氩气，在熔融反应装置两侧侧壁上设置有气体导流通道，气体导流通道依次穿透钼反射屏侧壁、反应容器侧壁和保温层侧壁，以将SiO蒸汽和氩气的混合气体引导至熔融反应装置外，导入至水冷沉积装置内进行冷却沉积，熔融反应装置两侧的气体导流通道通过导气管与水冷沉积装置连通。