[发明专利]稀土金属旋转靶材的制造方法在审
| 申请号： | 201711024430.7 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107799253A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 李慧;李静雅;刘树峰;鲁飞;刘小鱼;孙良成;娄树普;温永清;王誉 | 申请（专利权）人： | 包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | H01F1/057 | 分类号： | H01F1/057;H01F41/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司11331 | 代理人： | 张良 |
| 地址： | 014030 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种稀土金属旋转靶材的制造方法，包括利用氢化脱氢法‑破碎法制备平均粒径D50为40～70μm的稀土金属金属粉料；将稀土金属金属粉料装入真空热压烧结炉的石墨模具中，在真空环境或氩气保护气氛下，热压成型得到稀土金属靶材毛坯，热压温度900～1130℃，成型压力19～30MPa，保温保压1～2小时；对稀土金属靶材毛坯进行机加工，焊接铜或不锈钢背靶后得到稀土金属旋转靶材。本发明可以大幅提高稀土金属在钕铁硼镀膜渗Dy、Dy/Tb或者Tb工艺中的利用率，降低生产成本，提高钕铁硼矫顽力。 | ||
| 搜索关键词： | 稀土金属 旋转 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种稀土金属旋转靶材的制造方法，包括：利用氢化脱氢法‑破碎法制备平均粒径D50为40～70μm的稀土金属金属粉料；将稀土金属金属粉料装入真空热压烧结炉的石墨模具中，在真空环境或氩气保护气氛下，热压成型得到稀土金属靶材毛坯，热压温度900～1130℃，成型压力19～30MPa，保温保压1～2小时；对稀土金属靶材毛坯进行机加工，焊接铜或不锈钢背靶后得到稀土金属旋转靶材。
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