[发明专利]一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取动态掩膜的方法

摘要

本发明实施例公开了一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取动态掩膜的方法。数字光纤合束器的光纤合束模块包括位于数字光纤合束器两端对称分布的、结构相同的第一光纤合束和第二光纤合束，光纤合束为多束外包光纤按照预设的排列方式组合而成；光通断模块包括多个连接小室及位于连接小室狭缝内的像元开关，连接小室的数量为外包光纤总数的一半，每个连接小室用于容纳第一光纤合束的第一外包光纤内端和与第一外包光纤相应的第二光纤合束的第二外包光纤内端，且第一外包光纤内端端面与第二外包光纤内端端面间形成狭缝；封装及保护模块用于对像元开关进行封装连接和对数字光纤合束器进行保护。本申请不仅可动态获得掩膜图案，还可提高光刻的分辨率。

主权项

一种数字光纤合束器，其特征在于，包括：光纤合束模块、光通断模块和封装及保护模块；其中，所述光纤合束模块包括位于数字光纤合束器两端对称分布的、结构相同的第一光纤合束和第二光纤合束，光纤合束为多束直径为微米级别的外包光纤按照预设的排列方式组合而成；所述光通断模块包括多个阵列分布的连接小室及位于每个连接小室狭缝内的像元开关，连接小室的数量为外包光纤总数的一半，每个连接小室用于容纳所述第一光纤合束的第一外包光纤内端和与所述第一外包光纤相应的所述第二光纤合束的第二外包光纤内端，且所述第一外包光纤内端端面与所述第二外包光纤内端端面间形成狭缝；通过控制像元开关的遮光散光板，以实现控制光源出射的光束经过所述第一光纤合束是否传输至所述第二光纤合束；所述遮光散光板的中心轴与外包光纤中心轴一致；所述封装及保护模块包括封装单元和保护单元，所述封装单元封装连接所述像元开关，所述保护单元用于对所述光纤合束模块和所述光通断模块进行保护。