[发明专利]扫描探针-椭圆偏振多功能耦合原位测量装置有效
| 申请号： | 201711032128.6 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN107884599B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘庆纲;岳翀;郎垚璞;秦自瑞;刘睿旭;李洋 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01Q30/02 | 分类号： | G01Q30/02 |
| 代理公司： | 天津才智专利商标代理有限公司 12108 | 代理人： | 王顕 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描探针‑椭圆偏振多功能耦合原位测量装置，包括XY微动扫描器、扫描探针显微测量机构和椭圆偏振光测量机构。待测样品支架、Z轴压电微动扫描器、XY微动扫描器与XYZ粗动扫描器沿Z轴串联且与扫描探针测量机构刚性连接在基座上。扫描探针的针尖在椭圆偏振光测量机构的入射光与反射光的交点上，且扫描探针与Z轴形成的YZ平面垂直于椭圆偏振光测量机构的入射光与反射光所在XZ平面；本发明的有益效果是：可以原位、同步、实时测量工作样品的宏观光学厚度和微观几何量信息。操作方便，测试准确形象，测量表征效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 椭圆 偏振 多功能 耦合 原位 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种扫描探针‑椭圆偏振多功能耦合原位测量装置，其特征是，包括设置在C型基座(5)上的待测样品支架(3)、XY微动扫描器(4)、扫描探针显微测量机构(1)和椭圆偏振光测量机构(2)。
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