[发明专利]天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201711042847.6 申请日: 2017-10-31
公开(公告)号: CN107632333A 公开(公告)日: 2018-01-26
发明(设计)人: 王晋峰;黄猛;田杰;王烨儒 申请(专利权)人: 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
主分类号: G02B5/08 分类号: G02B5/08;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/30
代理公司: 江苏致邦律师事务所32230 代理人: 栗仲平
地址: 210042 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系及其制备方法,膜系结构如下,自反射镜表面开始依次为打底层、银层、钝化层、介质膜堆层。所述打底层采用铬、镍铬合金或三氧化二铝,厚度为10nm‑25nm;所述银膜层厚度约为100nm;所述钝化层采用NiCrNx,厚度1nm;所述介质膜堆层采用氧化铪与氟化镁两种高、低折射率的光学薄膜材料交替组成。本发明是目前所有空间天文反射镜制备方法中波段最宽、反射效率最高的反射镜,相比于传统铝反射镜,光谱反射效率在紫外与可见光波段高出约8%;本发明所涉及超宽带高效反射镜相比于传统银反射镜,使用寿命更长,环境稳定性更加出色。
搜索关键词: 天文望远镜 宽带 反射率 反射 镜膜系 及其 制备 方法
【主权项】:
一种天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系,其特征在于,膜系结构如下,自反射镜表面开始依次为:打底层、银层、钝化层、介质膜堆层。
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