[发明专利]一种CL08-08系列高压二极管芯片表面一次涂布工艺有效

专利信息
申请号: 201711047330.6 申请日: 2017-10-31
公开(公告)号: CN107742609B 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 严建萍 申请(专利权)人: 南通皋鑫电子股份有限公司
主分类号: H01L21/329 分类号: H01L21/329;H01L21/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 226500 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种CL08‑08系列高压二极管芯片表面一次涂布工艺,它包括如下工艺步骤:选用CL08系列部件用涂布机;启动涂布机进行涂布;启动烘箱电源,按照烘箱设定程序运行,进行干燥固化;抽取固化后CL08系列部件样品,进行膜厚测试。优点是设计合理,采用改进后粘度为625±50cp涂胶,一次涂布即可达到管芯表面涂敷工序膜厚工艺规范,省时省工,设备生产效率提高一倍。
搜索关键词: 一种 cl08 08 系列 高压 二极管 芯片 表面 一次 工艺
【主权项】:
一种CL08‑08系列高压二极管芯片表面一次涂布工艺,其特征在于,它包括如下工艺步骤:(1)选用CL08系列部件用涂布机,调整涂布机之传送带速度,使之符合规定,同时开启涂布机上各氮气阀门,设定各氮气流量计流量符合工艺规定,并往料钵中加入适量的涂胶;(2)将布有CL08系列部件的塑料模具置于梳料架上,用锯条模将CL08系列部件梳下,连锯条模置于传送带上送至涂布机,再调节涂布轮、回收轮的高度、速度,启动涂布机进行涂布;(3)将涂布后部件连同锯条模置于烘箱内,启动烘箱电源,按照烘箱设定程序运行,进行干燥固化,结束后,关闭烘箱电源,待温度降至100℃时,打开炉门,降温后取出固化后CL08系列部件;(4)抽取固化后CL08系列部件样品,进行膜厚测试,金相显微镜测量上胶层膜厚,膜层厚度符合工艺规范。
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