[发明专利]一种掩膜板承载装置及蒸镀装置有效

专利信息
申请号: 201711047601.8 申请日: 2017-10-31
公开(公告)号: CN107805778B 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 林治明;黄俊杰;王琦;尹志;白音必力;郝志元;辛小林;王震;刘旭 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 郭润湘
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及显示器件的制备设备技术领域,公开了一种掩膜板承载装置及蒸镀装置,该掩膜板承载装置包括承载架,承载架包括并行设置的两个支撑板,两个支撑板之间形成有行走间隙,每一个支撑板上均设有多个高于支撑面的基础挡块,每一个支撑板中与行走间隙的第二端对应的部位形成有第一挡块,第一挡块形成有朝向行走间隙的第一端、且与行走间隙延伸方向垂直的掩膜板姿态矫正面,且沿与支撑面垂直的方向,姿态矫正面的高度高于基础挡块的高度。上述掩膜板承载装置中,第一挡块对掩膜板输送小车上的掩膜板的姿态起到调整作用,使掩膜板可以精确地被放置到承载架上,避免掩膜板位置二次调整,有效的提高了工作效率,有利于提高产能。
搜索关键词: 掩膜板 挡块 承载装置 支撑板 承载架 蒸镀装置 姿态矫正 掩膜板位置 并行设置 二次调整 方向垂直 工作效率 间隙延伸 输送小车 显示器件 制备设备 垂直的 第一端 支撑面 产能 地被 支撑
【主权项】:
1.一种掩膜板承载装置,包括用于承载掩膜板的承载架,其特征在于,所述承载架包括并行设置的两个支撑板,两个所述支撑板均形成有用于支撑掩膜板的支撑面,两个所述支撑板之间形成有用于掩膜板输送小车行走的行走间隙,且沿所述支撑板的延伸方向,所述行走间隙的第一端形成用于掩膜板输送小车进出的进出口;每一个所述支撑板上均设有多个高于所述支撑面的基础挡块,且各所述基础挡块朝向所述行走间隙的表面与所述支撑面配合形成用于限定掩膜板位置的掩膜板限位空间;每一个所述支撑板中与所述行走间隙的第二端对应的部位形成有第一挡块,所述第一挡块形成有朝向所述行走间隙的第一端、且与所述行走间隙延伸方向垂直的掩膜板姿态矫正面,两个所述支撑板设有的第一挡块的姿态矫正面处于同一平面,且沿与所述支撑面垂直的方向,所述姿态矫正面的高度高于所述基础挡块的高度。
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