[发明专利]基板湿式处理装置

摘要

本发明公开一种基板湿式处理装置，其包括一浸泡槽、一喷洗处理槽、一输送载具以及一控制单元。控制单元控制多个基板的湿式处理。浸泡槽包括一多片式容置部，控制单元分别控制每一基板于多片式容置部的浸泡处理时序。喷洗处理槽邻设于浸泡槽。控制单元控制输送载具移送一第一基板至多片式容置部；经过一间隔时间，移送一第二基板至多片式容置部；第一基板经过一浸泡处理时间，移送至喷洗处理槽；经过一喷洗处理时间后，移出第一基板；及第二基板经过该浸泡处理时间，移送至喷洗处理槽。控制单元依据喷洗处理时间排程间隔时间。

主权项

1.一种基板湿式处理装置，其特征在于，包括：一控制单元，控制多个基板的湿式处理；一浸泡槽，包括一多片式容置部，其中该控制单元分别控制每一该些基板于该多片式容置部的浸泡处理时序；一喷洗处理槽，邻设于该浸泡槽，并具有至少一单片式喷洗单元；以及一输送载具，于该浸泡槽及该喷洗处理槽之间移送每一该些基板；其中该控制单元，控制该输送载具移送该些基板中之一第一基板至该浸泡槽的该多片式容置部，经过一间隔时间，移送该些基板中的一第二基板置于该浸泡槽的该多片式容置部，该第一基板经过一浸泡处理时间，自该浸泡槽移送至该喷洗处理槽的该单片式喷洗单元进行喷洗处理，经过一喷洗处理时间，自该单片式喷洗单元移出该第一基板，及该第二基板经过该浸泡处理时间，自该浸泡槽接续移送至该喷洗处理槽的该单片式喷洗单元进行喷洗处理，其中该控制单元依据该喷洗处理时间排程该间隔时间。